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J-GLOBAL ID：200902155371500362   整理番号：97A0120361

レーザアブレーション法によるTiN薄膜の形成

Formation of Titanium Nitride Film by Laser Ablation Method.

著者 (4件)： 松谷貴臣 (近畿大) ,  島田智史 (近畿大) ,  久保宇市 (近畿大) ,  中山たけ義 (近畿大)
資料名： 電気学会全国大会講演論文集  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan)
巻： 1995  号： 2  ページ： 2.242  発行年： 1995年03月 
JST資料番号： S0653A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (2件)： レーザアブレーション法 ,  TiN薄膜