文献
J-GLOBAL ID:200902155464270294
整理番号:94A0179705
Ca汚染による酸化膜耐圧劣化の熱処理条件依存性
Dependence of Dielectric Degradation caused by Calcium-contamination on the Thermal process.
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{{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=94A0179705&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0055A") }}