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J-GLOBAL ID：200902155464270294   整理番号：94A0179705

Ca汚染による酸化膜耐圧劣化の熱処理条件依存性

Dependence of Dielectric Degradation caused by Calcium-contamination on the Thermal process.

著者 (3件)： 滝山真功 (新日本製鉄) ,  大塚進 (新日本製鉄) ,  日月応治 (新日本製鉄)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 54th  号： 2  ページ： 660  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： Ca ,  汚染 ,  酸化膜 ,  耐圧 ,  熱処理条件 ,  依存性