大気圧均質プラズマの実現とプラズマプロセスへの展開

文献

J-GLOBAL ID：200902155499815706 整理番号：97A0524478

Development of Homogenous Plasma at Atmospheric Pressure and Application to Plasma Process.

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資料名：
巻： 44th 号： 0 ページ： 1389 発行年： 1997年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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