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J-GLOBAL ID:200902155840033576   整理番号:01A0627466

電力応用用SiC半導体デバイスの最近の進歩と現状

Recent progress and current issues in SiC semiconductor devices for power applications.
著者 (9件):
資料名:
巻: 148  号:ページ: 101-108  発行年: 2001年04月 
JST資料番号: A0160B  ISSN: 1350-2409  CODEN: ICDSE7  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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SiC半導体デバイスのプロセス技術の現状をレビューするととも...
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