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J-GLOBAL ID:200902156181860245   整理番号:01A0454588

Si(001)との反応による層状けい酸ランタン誘電体の形成

Formation of a stratified lanthanum silicate dielectric by reaction with Si(001).
著者 (3件):
資料名:
巻: 78  号: 11  ページ: 1607-1609  発行年: 2001年03月12日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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Si(001)基板と酸化ランタン膜との反応によって形成された...
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分類 (2件):
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酸化物薄膜  ,  金属-絶縁体-半導体構造 
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