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J-GLOBAL ID：200902156231096800   整理番号：98A0165921

パルスレーザ蒸着によるZnO:Al膜の作製と特性評価

Preparation and characterization of ZnO: Al films by pulsed laser deposition.

著者 (7件)： NING Z Y (Suzhou Univ., Suzhou, CHN) ,  CHENG S H (Suzhou Univ., Suzhou, CHN) ,  GE S B (Suzhou Univ., Suzhou, CHN) ,  CHAO Y (Suzhou Univ., Suzhou, CHN) ,  GANG Z Q (Suzhou Univ., Suzhou, CHN) ,  ZHANG Y X (Nangjing Univ., Nangjing, CHN) ,  LIU Z G (Nangjing Univ., Nangjing, CHN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 307  号： 1/2  ページ： 50-53  発行年： 1997年10月10日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なる蒸着条件でのレーザアブレーションで高透過率,低抵抗率お...

シソーラス用語： レーザアブレーション ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： パルスレーザ蒸着 ,  ZnO ,  Al膜 ,  作製 ,  特性評価