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J-GLOBAL ID：200902156537416060   整理番号：01A0583721

放射光による物作り ミクロンからナノへ

Device and Material Processes Using Synchrotron Radiation. from micron to nanometers.

著者 (4件)： 宇理須恒雄 (分子科研) ,  野々垣陽一 (分子科研) ,  加藤隆典 (住友重機械工業) ,  ZHANG Y (住友重機械工業)
資料名： 放射光  (日本放射光学会誌)
巻： 14  号： 2  ページ： 112-115  発行年： 2001年04月30日 
JST資料番号： L0956A  ISSN： 0914-9287  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 放射光科学の重要な分野の一つとして、物作りへの応用がある。最...

シソーラス用語： *シンクロトロン放射 ,...

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分類 (2件)： 放射線物理一般  (BK16010L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (12件)：

• 加藤隆典. 精密工学会誌. 1998, 64, 1008
• ZHANG, Y. Jpn. J. Appl. Phys. 2001, 40, L75
• MIYAMAE, T. Surf. Sci. 1999, 437, L755
• GAO, Y. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 1392
• GOTO, T. Jpn. J .Appl. Phys. 1992, 31, 4449

タイトルに関連する用語 (2件)： 放射光 ,  物作り