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J-GLOBAL ID：200902156786454141   整理番号：95A0571312

p-n接合電流-電圧特性によるプロセスダメージの評価

Estimation of Process Damage Layer by p-n Junction I-V Characteristics.

著者 (4件)： 湯田正宏 (NTT 光エレクトロニクス研) ,  岸健志 (NTT 光エレクトロニクス研) ,  幸前篤郎 (NTT 光エレクトロニクス研) ,  中野純一 (NTT 光エレクトロニクス研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 42nd  号： Pt 3  ページ： 1330  発行年： 1995年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： p-n接合 ,  電圧特性 ,  プロセス ,  ダメージ ,  評価