超清浄スパッタリングプロセスと高密度磁気記録媒体

TAKAHASHI M; KIKUCHI A; KAWAKITA S

文献

J-GLOBAL ID：200902156873327210 整理番号：97A1031511

超清浄スパッタリングプロセスと高密度磁気記録媒体

The Ultra Clean Sputtering Process and High Density Magnetic Recording Media.

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資料名：
巻： 33 号： 5, Pt.1 ページ： 2938-2943 発行年： 1997年09月
JST資料番号： A0339B ISSN： 0018-9464 CODEN： IEMGAQ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

微細構造と磁気特性を制御する新らしいコンセプトを確立するため...

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電子・磁気・光学記録

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