Si上に有機金属化学蒸着により成長させたBaTiO<sub>3</sub>膜の構造

YOON Y S; KANG W N; SHIN H S; YOM S S; KIM T W; LEE J Y; CHOI D J; BAEK S-S

文献

J-GLOBAL ID：200902156949868283 整理番号：93A0274865

Si上に有機金属化学蒸着により成長させたBaTiO₃膜の構造

Structural properties of BaTiO₃ thin films on Si grown by metalorganic chemical vapor deposition.

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資料名：
巻： 73 号： 3 ページ： 1547-1549 発行年： 1993年02月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Si(100)基板に強誘電性の標記薄膜を600°Cで成長させた...

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その他の無機化合物の薄膜

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Si上に有機金属化学蒸着により成長させたBaTiO3膜の構造

Si上に有機金属化学蒸着により成長させたBaTiO₃膜の構造