不均一軸対称磁場中のCzochralski結晶引上装置内の融液の等温運動

文献

J-GLOBAL ID：200902157453752966 整理番号：93A0479935

Melt motion in a Czochralski crystal puller with a non-uniform axisymmetric magnetic field: isothermal motion.

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資料名：
巻： 249 ページ： 1-34 発行年： 1993年04月
JST資料番号： C0290A ISSN： 0022-1120 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

標記の装置のるつぼ内の溶融したシリコンを円柱状の結晶として引...

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結晶成長技術・装置

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