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J-GLOBAL ID：200902157504734259   整理番号：94A0016700

電子光学鏡筒推定特性関数を用いたSEM画質改善手法の開発

SEM Image Restoration with Feature Function of Electro Optical Tube.

著者 (2件)： 市川吉晴 (日本テキサス・インスツルメンツ) ,  小原正夫 (日本テキサス・インスツルメンツ)
資料名： 画像工学コンファレンス論文集
巻： 24th  ページ： 187-190  発行年： 1993年12月 
JST資料番号： G0305B  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (8件)： 電子光学 ,  鏡筒 ,  推定 ,  特性関数 ,  SEM ,  画質改善 ,  手法 ,  開発