アルキロキシメチル基を側鎖に有するポジ型感光性ポリイミド前駆体 [II] イオン性不純物の発生を伴わない前駆体の合成

文献

J-GLOBAL ID：200902157505254919 整理番号：94A0408319

A Positive Photosensitive Polyimide Precurser Having a Alkyloxymethyl Group in the Side Chain. II . Ionic Free Synthesis Method.

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巻： 42 号： 7 ページ： 2688-2690 発行年： 1993年09月
JST資料番号： Z0703B 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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