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J-GLOBAL ID：200902157544620566   整理番号：95A0889864

A Low Cost of Ownership KrF Excimer Laser Using a Novel Pulse Power and Chamber Configuration.

著者 (4件)： PARTLO W (Cymer Laser Technol., CA) ,  SANDSTROM R (Cymer Laser Technol., CA) ,  FOMENKOV I (Cymer Laser Technol., CA) ,  DAS P (Cymer Laser Technol., CA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 2440  ページ： 90-100  発行年： 1995年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： LASER