偏光レーザ照射による高分子表面上のサブハーフミクロン周期構造

文献

J-GLOBAL ID：200902157823154885 整理番号：94A0129175

Sub-Half-Micron Periodic Structures on Polymer Surfaces with Polarized Laser Irradiation.

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巻： 32 号： 12B ページ： 6182-6184 発行年： 1993年12月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

シリコン上のカプトンポリイミド膜,ポリエチレンテレフタレート...

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固体デバイス製造技術一般 , レーザ照射・損傷 , 試料技術

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