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J-GLOBAL ID：200902158001568021   整理番号：02A0322931

光支援パルスレーザ蒸着により成長させた酸化タンタル薄膜の構造及び電気特性

Structural and electrical properties of tantalum oxide films grown by photo-assisted pulsed laser deposition.
著者 (2件)：
ZHANG J-Y

ZHANG J-Y について

(Univ. Coll. London, London, GBR)

Univ. Coll. London, London, GBR について

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BOYD I W

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(Univ. Coll. London, London, GBR)

Univ. Coll. London, London, GBR について


資料名：
Applied Surface Science  (Applied Surface Science)

Applied Surface Science について


巻： 186  号： 1/4  ページ： 40-44  発行年： 2002年01月28日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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アブレーションを刺激するためのNd:YAGレーザ光と付加的な...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*酸化タンタル

酸化タンタル について

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分類 (2件)：
分類
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酸化物薄膜 
(BK14050P)

酸化物薄膜 について

,  金属-絶縁体-半導体構造 
(BM03085X)

金属-絶縁体-半導体構造 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
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支援

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, 
パルスレーザ蒸着

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, 
成長

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酸化タンタル

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薄膜

薄膜 について

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電気特性

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