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J-GLOBAL ID:200902158034699458   整理番号:99A0791573

ステップおよびフラッシュインプリントリソグラフィ:高解像度パターニングへの新しいアプローチ

Step and Flash Imprint Lithography: A New Approach to High-Resolution Patterning.
著者 (9件):
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巻: 3676  号: Pt.1  ページ: 379-389  発行年: 1999年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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