放射光による応用加工技術の現状と将来  放射光のナノ・マイクロ加工技術への応用

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J-GLOBAL ID：200902158312521738 整理番号：02A0373036

放射光による応用加工技術の現状と将来放射光のナノ・マイクロ加工技術への応用

Application of Synchrotron Radiation to Nano Maicro Manufacturing.

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資料名：
巻： 71 号： 3 ページ： 135-144 発行年： 2002年04月05日
JST資料番号： G0090A ISSN： 0021-4787 CODEN： YOGAA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

加工技術への放射光応用の歴史的背景から現在の開発状況とその展...

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特殊加工 , 円形加速器 , 電鋳 , 成形工程とその装置一般

引用文献 (36件)：

Spring-8パンプレット. 2000
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