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J-GLOBAL ID:200902158344789546   整理番号:97A0229515

大口径ウェハ用表面検査装置の開発

Surface Inspection System for Large Size Wafer.
著者 (3件):
資料名:
号: 12  ページ: 16-21  発行年: 1996年07月 
JST資料番号: L3045A  ISSN: 0917-4346  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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超LSIの大容量化に伴って,ウェハの大口径化による生産コスト...
シソーラス用語:
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分類 (1件):
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固体デバイス計測・試験・信頼性 
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