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J-GLOBAL ID:200902158458436287   整理番号:01A0421132

大気圧のもとでの空気,窒素中におけるマイクロメータ分離での電場絶縁破壊

Electric field breakdown at micrometre separations in air and nitrogen at atmospheric pressure.
著者 (3件):
資料名:
巻: 147  号:ページ: 261-265  発行年: 2000年09月 
JST資料番号: D0380D  ISSN: 1350-2344  CODEN: ISMTEV  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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マイクロシステムで用いられるマイクロモータやマイクロアクチュ...
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分類 (1件):
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放電一般 
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