大気圧のもとでの空気,窒素中におけるマイクロメータ分離での電場絶縁破壊

DHARIWAL R S; TORRES J-M; DESMULLIEZ M P Y

文献

J-GLOBAL ID：200902158458436287 整理番号：01A0421132

大気圧のもとでの空気,窒素中におけるマイクロメータ分離での電場絶縁破壊

Electric field breakdown at micrometre separations in air and nitrogen at atmospheric pressure.

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資料名：
巻： 147 号： 5 ページ： 261-265 発行年： 2000年09月
JST資料番号： D0380D ISSN： 1350-2344 CODEN： ISMTEV 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

マイクロシステムで用いられるマイクロモータやマイクロアクチュ...

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放電一般

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