C<sup>+</sup>イオンからのDLC膜の成長機構 実験的研究

LIFSHITZ Y; LEMPERT G D; GROSSMAN E; AVIGAL I; UZAN-SAGUY C; KALISH R; KULIK J; MARTON D; RABALAIS J W

文献

J-GLOBAL ID：200902158675556029 整理番号：95A0432677

C⁺イオンからのDLC膜の成長機構実験的研究

Growth mechanisms of DLC films from C⁺ ions: experimental studies.

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資料名：
巻： 4 号： 4 ページ： 318-323 発行年： 1995年04月15日
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

高温C⁺イオンからのDLC膜の成長機構...

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炭素とその化合物

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C+イオンからのDLC膜の成長機構 実験的研究

C⁺イオンからのDLC膜の成長機構実験的研究