文献

J-GLOBAL ID：200902158678310551   整理番号：02A0356035

誘導結合型酸素プラズマ処理によるCdTe表面酸化層の形成と表面リーク電流低減効果

Formation of Surface Oxide Layer on CdTe and Reduction of Surface Leakage Current by Inductively Coupled O₂ Plasma Treatment.

著者 (5件)： 比嘉晃 (琉球大 工) ,  三浦辰彦 (琉球大 工) ,  前浜剛広 (琉球大 工) ,  大野良一 (アクロラド) ,  渡久地実 (琉球大 工)
資料名： 電子情報通信学会論文誌 C  (IEICE Transactions on Electronics (Japanese Edition))
巻： J85-C  号： 4  ページ： 285-292  発行年： 2002年04月01日 
JST資料番号： S0623C  ISSN： 1345-2827  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： CdTe結晶は,比較的大きなバンドギャップをもち,X線やγ線...

シソーラス用語： *テルル化カドミウム ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=02A0356035&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=S0623C") }}

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  放射線検出・検出器  (AD08020J)

引用文献 (10件)：

• EISEN, Y. CdTe and CdZnTe materials for room-temperature X-ray and gamma ray detectors. J. Cryst. Growth. 1998, 184/185, 1302-1312
• NIRAULA, M. Performance of CdTe gamma-ray detectors fabricated in a new M-π-n design. J. Cryst. Growth. 2000, 214/215, 1116-1120
• OZAKI, T. Thermal treatment of CdTe surfaces for radiation detectors. Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. A. 1996, 380, 141-144
• 浅野浩司. エキシマレーザードーピング法によるp-i-nCdTeダイオードの作製. 信学技報. 2001, ED2001-14
• IVANOV, V. I. The influence of the M-π-n structure on CdTe X-ray detector performance. IEEE Trans. Nucl. Sci. 1998, 45, 3, 390-393

タイトルに関連する用語 (6件)： 誘導結合 ,  酸素プラズマ ,  CdTe ,  表面酸化 ,  リーク電流 ,  低減効果