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J-GLOBAL ID：200902158997736456   整理番号：01A0073933

大気中のTiNの極短パルスレーザアブレーションにおける化学,形状及び蓄積現象

Chemical, morphological and accumulation phenomena in ultrashort-pulse laser ablation of TiN in air.

著者 (4件)： BONSE J (Bundesanstalt fuer Materialforsch. und -pruefung, Berlin, DEU) ,  STURM H (Bundesanstalt fuer Materialforsch. und -pruefung, Berlin, DEU) ,  SCHMIDT D (Bundesanstalt fuer Materialforsch. und -pruefung, Berlin, DEU) ,  KAUTEK W (Bundesanstalt fuer Materialforsch. und -pruefung, Berlin, DEU)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 71  号： 6  ページ： 657-665  発行年： 2000年12月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大気中の直接集光技術を用いて,0.3~4.5J/cm<sup...

シソーラス用語： *レーザアブレーション ,...
準シソーラス用語： 窒化チタン ,...

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分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (7件)： 大気中 ,  TiN ,  極短パルスレーザ ,  アブレーション ,  化学 ,  蓄積 ,  現象