光リソグラフィーの新展開  屈折から反射へ  高精度測定のための点回折干渉計

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J-GLOBAL ID：200902159119713588 整理番号：02A0681308

光リソグラフィーの新展開屈折から反射へ高精度測定のための点回折干渉計

Point Diffraction Interferometer for Accurate Measurement of Extreme Ultraviolet Optics.

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資料名：
巻： 31 号： 7 ページ： 538-544 発行年： 2002年07月10日
JST資料番号： G0125B ISSN： 0389-6625 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

Extreme ultraviolet lithograph...

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薄膜成長技術・装置 , 干渉測定と干渉計

引用文献 (18件)：

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