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J-GLOBAL ID：200902159704349840   整理番号：99A0662901

ガラス製ボロンフリーフィルタの開発

Development of UULPA filter with low boron glass media.

著者 (3件)： 林嗣郎 (日本無機) ,  渡辺誠浩 (日本無機) ,  山口健 (日本無機)
資料名： 空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集  (空気清浄とコンタミネーションコントロール研究に関する技術研究大会予稿集)
巻： 17th  ページ： 185-186  発行年： 1999年04月22日 
JST資料番号： Y0789A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 従来のフィルタと同様,低価格のガラス繊維を使用した低ボロンの...

シソーラス用語： 半導体工業 ,...

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分類 (2件)： 空気浄化  (PC02060X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： ガラス ,  開発