特集 メカトロニクスを推進する電気・電子アクチュエータとその活用事例 マイクロマシン用アクチュエータとその活用

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J-GLOBAL ID：200902159918841670 整理番号：93A0450808

特集メカトロニクスを推進する電気・電子アクチュエータとその活用事例マイクロマシン用アクチュエータとその活用

Special issue : Electric and electronic actuators promoting the mechatronics and applications.Actuator for micromachines and its utilization.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 24 号： 5 ページ： 47-50 発行年： 1993年05月
JST資料番号： F0925A ISSN： 0386-409X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

各種の静電マイクロアクチュエータ(SMA)の原理,製作法,特...

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電気式制御機器 , 固体デバイス製造技術一般

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