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J-GLOBAL ID：200902160168211588   整理番号：94A0124137

The Relationship Between Resist Performance and Diffusion in Chemically Amplified Resist Systems.

著者 (4件)： FEDYNYSHYN T H (Shipley Co., MA) ,  SZMANDA C R (Shipley Co., MA) ,  BLACKSMITH R F (Shipley Co., MA) ,  HOUCK W E (Shipley Co., MA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 1925  ページ： 2-13  発行年： 1993年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)