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J-GLOBAL ID：200902160260164081   整理番号：93A0648565

イオンビーム蒸着重合法によるポリイミド薄膜の表面平坦性

Effect of Ion Beam Assisted Vapor Deposition on Smoothing of Polyimide Thin Films.

著者 (6件)： 竹内大輔 (京大 工 イオン工学実験施設) ,  高岡義寛 (京大 工 イオン工学実験施設) ,  FEIFAR A (京大 工 イオン工学実験施設) ,  石高良彦 (アルプス電気 中研) ,  佐藤由美子 (アルプス電気 中研) ,  山田公 (京大 工 イオン工学実験施設)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 40th  号： Pt 2  ページ： 399  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： イオンビーム蒸着 ,  重合法 ,  ポリイミド薄膜 ,  平坦性