文献
J-GLOBAL ID：200902160571393181
整理番号：93A0918211
Integrierte Optik und Mikromechanik auf Silizium.
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著者 (1件)：
資料名：
号：
163
ページ：
100P
発行年：
1993年
JST資料番号：
B0555A
ISSN：
0178-9422
資料種別：
逐次刊行物 (A)
発行国：
ドイツ (DEU)
言語：
ドイツ語 (DE)
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