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J-GLOBAL ID：200902160579676328   整理番号：95A0672909

簡易型自動焦点検出光学系の開発

Development of Simple Automatic Focusing Optics.

著者 (4件)： 中村篤史 (長岡技科大 大学院) ,  秋山伸幸 (長岡技科大) ,  谷内俊明 (日立電子エンジニアリング) ,  近松秀一 (日立電子エンジニアリング)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 61  号： 7  ページ： 974-975  発行年： 1995年07月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本体の装置とは独立に取り付け可能な,外付け方式の自動焦点合わ...

シソーラス用語： 簡素化 ,...

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分類 (2件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K) ,  半導体レーザ  (BD04070L)

引用文献 (5件)：

• 須田匡. 面板欠陥検出装置. 第15回SICE学術講演会講演論文集. 1976, No. 1806, 197
• 真田恭. 0.15μm世代のマスク欠陥検査装置MC-100の開発. 1994年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 1994, 479
• 秋山伸幸. しまパタ-ン投影式自動焦点合わせ法(第1報). 精密工学会誌. 1990, 56,7, 1304
• 秋山伸幸. しまパタ-ン投影式自動焦点合わせ法(第2報). 精密工学会誌. 1990, 56,12, 2273
• 吉原邦夫. 物理工学. 1979, 177

タイトルに関連する用語 (4件)： 簡易 ,  自動焦点 ,  光学系 ,  開発