Pt/TiおよびPt/Ti/TiN界面反応への焼鈍環境およびPtの厚さの効果

OLOWOLAFE J O; JONES R E JR; CAMPBELL A C; HEGDE R I; MOGAB C J; GREGORY R B

文献

J-GLOBAL ID：200902160584452934 整理番号：93A0314430

Pt/TiおよびPt/Ti/TiN界面反応への焼鈍環境およびPtの厚さの効果

Effects of anneal ambients and Pt thickness on Pt/Ti and Pt/Ti/TiN interfacial reactions.

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巻： 73 号： 4 ページ： 1764-1772 発行年： 1993年02月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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