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J-GLOBAL ID：200902160611684800   整理番号：97A0937073

単結晶Siのダイヤモンド切削に関する研究 (第1報) 工具すくい角の影響

Researches on cutting a single crystal Si with diamond. (Report No. 1). Effects of tool rake angle.

著者 (4件)： えん紀旺 (東北大 大学院) ,  鈴木浩文 (東北大 工) ,  厨川常元 (東北大 工) ,  庄司克雄 (東北大 工)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1997  号： 秋季  ページ： 166  発行年： 1997年09月 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

引用文献 (4件)：

• NAKASUJI. Annals of the CIRP. 1990, 39/1, 89
• BLACKLY. Precision Engineering. 1991, 13, 2, 95
• YAN. Proc. of Intl. Conf. on MM21. 1997
• MALKIN. Annals of the CIRP. 1996, 45/2, 569

タイトルに関連する用語 (6件)： 単結晶Si ,  ダイヤモンド ,  切削 ,  研究 ,  工具 ,  すくい角