プラズマCVD; TiN成膜における新プラズマ窒化前処理の効果

文献

J-GLOBAL ID：200902160764478109 整理番号：94A0409090

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資料名：
巻： 88th ページ： 117-118 発行年： 1993年09月
JST資料番号： Y0050A ISSN： 0917-2947 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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