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J-GLOBAL ID：200902160982119803   整理番号：94A0089281

アルミニウムの陽極酸化による一次元マイクロホールアレイの作製

Fabrication of a one-dimensional microhole array by anodic oxidation of aluminum.

著者 (3件)： MASUDA H (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  NISHIO K (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  BABA N (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 63  号： 23  ページ： 3155-3157  発行年： 1993年12月06日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高いアスペクト比をもつ一次元マイクロホールアレイを酸化アルミ...

シソーラス用語： アスペクト比 ,...
準シソーラス用語： 陽極酸化

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分類 (2件)： 試料技術  (BA02070O) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： アルミニウム ,  陽極酸化 ,  マイクロ ,  ホールアレイ ,  作製