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J-GLOBAL ID：200902161303697573   整理番号：99A0421225

機上計測用高精度小型触針式形状測定センサの開発

著者 (8件)： 守安精 (東大) ,  中川威雄 (東大) ,  森田晋也 (東大 大学院) ,  山形豊 (理研) ,  大森整 (理研) ,  牧野内昭武 (理研) ,  加藤純一 (理研) ,  山口一郎 (理研)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1999  号： 春季  ページ： 196  発行年： 1999年03月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

引用文献 (1件)：

• 鈴木. 非球面形状の機上測定システムの開発. 精密工学会誌. 1995, 61, 11, 1594

タイトルに関連する用語 (4件)： 機上計測 ,  触針 ,  測定センサ ,  開発