シリコンオンインシュレータ基板上の多結晶Geに基づいた近赤外導波路光検出器

文献

J-GLOBAL ID：200902161374059365 整理番号：01A0739602

Near-infrared waveguide photodetectors based on polycrystalline Ge on silicon-on-insulator substrates.

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巻： 17 号： 1/2 ページ： 243-246 発行年： 2001年06月
JST資料番号： W0468A ISSN： 0925-3467 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

けい素上の機能デバイスと近赤外光検出器の集積化の実行可能な方...

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赤外・遠赤外領域の測光と光検出器 , 半導体薄膜

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