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J-GLOBAL ID：200902161706685184   整理番号：01A0349255

超精密・超微細加工 スーパースムーズ鏡面研磨とP-MACポリシング

Ultraprecision Machining. Ultraprecision Polishing for Super Smooth Surface and Newly Proposed P-MAC Polishing.

著者 (1件)： 河西敏雄 (埼玉大 大学院理工学研究科)
資料名： 表面科学  (JSSSJ)
巻： 22  号： 3  ページ： 179-186  発行年： 2001年03月10日 
JST資料番号： F0940B  ISSN： 0388-5321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： スーパスムース鏡面とは,表面粗さが表面原子の大きさ程度の表面...

シソーラス用語： *超精密加工 ,...

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分類 (2件)： 研削  (QC03000R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (17件)：

• 1) 谷口紀男:“材料科学シリーズ 6,材料と加工” (共立出版,1974).
• 2) T. Kasai, K. Horio, T. Karaki-Doy and A. Kobayashi: Annals of the CIRP, 39/1, 321 (1990).
• 3) 唐木俊郎:電通研成果報告第 21742号 (1984).
• 4) T. Izumitani and S. Adachi: Technical Digest at Topical Meeting on the Science of Polishing, OSA (1984) TuB-Al-1∼3.
• 5) N.J. Brown: Precision Engineering 9, 129 (1987).

タイトルに関連する用語 (5件)： 超精密 ,  微細加工 ,  鏡面研磨 ,  MAC ,  ポリシング