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J-GLOBAL ID：200902161855038345   整理番号：93A0565025

蒸気分配システムとしての泡発生器の動力学

The dynamics of bubblers as vapor delivery systems.
著者 (3件)：
LOVE A

LOVE A について

(Univ. California at San Diego, California, USA)

Univ. California at San Diego, California, USA について

, 
MIDDLEMAN S

MIDDLEMAN S について

(Univ. California at San Diego, California, USA)

Univ. California at San Diego, California, USA について

, 
HOCHBERG A K

HOCHBERG A K について

(J.C. Schumacher Co., California, USA)

J.C. Schumacher Co., California, USA について


資料名：
Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)

Journal of Crystal Growth について


巻： 129  号： 1/2  ページ： 119-133  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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泡発生器の作動条件が変化したときの応答を,数学モデルで調べ,...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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気泡

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分類 (1件)：
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薄膜成長技術・装置 
(BK14020I)

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分配システム

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泡発生器

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動力学

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