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J-GLOBAL ID：200902161912329726   整理番号：93A0648681

Si-Au界面のFEM観察

FEM Observation of Si-Au Interface.

著者 (5件)： 佐藤理 (東海大 工) ,  山本彰 (東海大 工) ,  大塚照久 (東海大 工) ,  菅野徹 (東海大 工) ,  CHANG K (東海大 工)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 40th  号： Pt 2  ページ： 451  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： Si ,  Au ,  界面 ,  FEM ,  観察