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J-GLOBAL ID：200902162047766704   整理番号：01A1032431

LSIの回路修正容易化設計

Layout Design for LSI Circuit Modification.

著者 (3件)： 久慈憲夫 (NTTエレクトロニクス SAセ) ,  竹田忠雄 (NTTコミュニケーションズ) ,  小峰行雄 (NTT 通信エネルギー研)
資料名： 電子情報通信学会論文誌 C  (IEICE Transactions on Electronics (Japanese Edition))
巻： J84-C  号： 11  ページ： 1106-1112  発行年： 2001年11月01日 
JST資料番号： S0623C  ISSN： 1345-2827  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： FIBやレーザCVD等による配線修正を容易にするため,あらか...

シソーラス用語： LSI【IC】 ,...

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分類 (1件)： 集積回路一般  (NC03161C)

引用文献 (9件)：

• 石井達也. 集束イオンビームを用いた電子ビームテスティング技術. 日本学術振興会第132委員会101回研究会資料. 1987, 46-51
• 真田克. EBテスターによる大規模,高速LSIの故障解析. 日本学術振興会第132委員会105回研究会資料. 1988, 7-12
• INO, M. LSI applications of 0.25-μm CMOS/SIMOX technology. Proc. ISDM'96. 1996, 482-484
• LEE, R. A. Low resistivity FIB depositions within high aspect ratio holes. 22nd ISTFA'96 Conference Proceedings. 1996, 85-88
• 久慈憲夫. クォータミクロン時代のEBテスティング. 1996信学ソ大(エレクトロニクス). 1996

タイトルに関連する用語 (3件)： LSI ,  容易 ,  設計