文献

J-GLOBAL ID：200902162056289757   整理番号：93A0906344

走査型レーザー顕微鏡による接着スペーサー粒子高さの高精度測定

Highly Precise Height Measurement of Adhesive Spacer Particle by Laser Scanning Microscopy.

著者 (4件)： 神代智子 (日本合成ゴム) ,  高橋玲子 (日本合成ゴム) ,  椎橋透 (日本合成ゴム) ,  安田健二 (日本合成ゴム)
資料名： 液晶討論会講演予稿集
巻： 19th  ページ： 386-387  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： F0115B  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液晶パネルの製造において,セル厚制御のためスペーサー粒子が使...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=93A0906344&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0115B") }}

タイトルに関連する用語 (4件)： 走査型 ,  レーザー顕微鏡 ,  スペーサー ,  高さ