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J-GLOBAL ID：200902162117504931   整理番号：94A0689466

YBaCuO超伝導薄膜のイオン照射増強エッチング

Ion Bombardment Enhanced Etching for YBaCuO Superconducting Thin Films.
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著者 (5件)：
FUJIWARA S

FUJIWARA S について

(Sanyo Tsukuba Research Center, Ibaraki, JPN)

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NEMOTO M

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(Sanyo Tsukuba Research Center, Ibaraki, JPN)

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FURUKAWA H

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(Sanyo Tsukuba Research Center, Ibaraki, JPN)

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NAKAO M

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(Sanyo Tsukuba Research Center, Ibaraki, JPN)

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SUZUKI S

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(Sanyo Tsukuba Research Center, Ibaraki, JPN)

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資料名：
Advances in Superconductivity  (Advances in Superconductivity)

Advances in Superconductivity について


巻： 5  ページ： 1025-1028  発行年： 1993年 
JST資料番号： L1458A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
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超伝導薄膜

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イオン照射

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増強

増強 について

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エッチング

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