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J-GLOBAL ID：200902162188305751   整理番号：93A0501383

2枚非球面光学系によるX線縮小投影露光

著者 (5件)： 溝田勉 (NTT LSI研) ,  芳賀恒之 (NTT LSI研) ,  栗原健二 (NTT LSI研) ,  木下博雄 (NTT LSI研) ,  竹中久貴 (NTT 境界領域研)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1993  号： Spring 1  ページ： 255-256  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 非球面光学 ,  X線 ,  縮小投影 ,  露光