光学干渉分光法を用いて行ったヘッド-ディスク間隔測定の誤差解析

MITSUYA Y; OHSHIMA Y

文献

J-GLOBAL ID：200902162254191657 整理番号：01A0649752

光学干渉分光法を用いて行ったヘッド-ディスク間隔測定の誤差解析

Error Analysis of Head-Disk Spacing Measurements Made by Using Optical Interferometry.

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資料名：
巻： 123 号： 2 ページ： 358-363 発行年： 2001年04月
JST資料番号： B0901A ISSN： 0742-4787 CODEN： JOTRE9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

光学的な標記の間隔測定での誤差範囲を量的に予測する単純な方法...

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記憶装置 , 光の散乱,回折,干渉

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