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J-GLOBAL ID：200902162673678159   整理番号：97A0245110

Pb(Zr,Ti)O₃膜用のPt/Tiボトム電極

Investigation of Pt/Ti Bottom Electrodes for Pb(Zr,Ti)O₃ Films.

著者 (4件)： KIM S-T (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR) ,  KIM H-H (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR) ,  LEE M-Y (Samsung Electronics Co., Ltd., Kyungki-do, KOR) ,  LEE W-J (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 36  号： 1A  ページ： 294-300  発行年： 1997年01月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Pt膜を標記PZTコンデンサ用ボトム電極としてTi/SiO<...

シソーラス用語： *薄膜コンデンサ ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】 ,...

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分類 (2件)： 金属-絶縁体-金属構造  (BM03087F) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (10件)：

• 1) J. F. Scott and C. A. Paz de Araujo: Science 246 (1989) 1400.
• 2) S. A. Myers and Leo N. Chanpin: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 200 (1990), 231.
• 3) K. Sreenivas, Ian Reaney, T. Maeder, N. Setter, C. Jagadish and R. G. Elliman: J. Appl. Phys. 75 (1994) 232
• 4) J. O. Olowolafe, R. E. Jones, Jr., A. C. Campbell, R. I. Hegde, C. J. Mogab and R. B. Gregory: J. Appl. Phys. 73 (1993) 1764
• 5) E. A. Kneer, D. P. Birnie III, G. Teowee and J. C. Podlesny: Ferroelectrics 152 (1994) 67.

タイトルに関連する用語 (6件)： Pb ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  Pt ,  ボトム