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J-GLOBAL ID:200902163017128173   整理番号:01A0314661

粒状化ポリシングディスクに関する一考察

A Study on Polishing Disc Using Granulated Abrasives.
著者 (1件):
資料名:
号: 35  ページ: 7-12  発行年: 2000年12月20日 
JST資料番号: S0436A  ISSN: 0385-4124  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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軟質砥粒であるシリカ微細粒を用い,高密度・低結合度の粒状化ポ...
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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研削・研摩材  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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