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J-GLOBAL ID:200902163232471040   整理番号:98A0440414

C11b,C40構造を持つ遷移金属ダイシリサイドのSi原子位置

Si atom position of transition metal die silicide with C11b and C40 structure.
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巻: 122nd  ページ: 255  発行年: 1998年03月 
JST資料番号: S0988A  ISSN: 1342-5730  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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