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J-GLOBAL ID：200902163350902404   整理番号：02A0555279

線状急速熱焼鈍法による酸化タンタル圧電薄膜の製造と圧電気の測定

Ultrasonic Electronics. Fabrication of Ta₂O₅ Piezoelectric Thin Film by the Linear Rapid Thermal Annealing Method and Measurement of Piezoelectricity.

著者 (2件)： NAKAGAWA Y (Yamanashi Univ., Kofu, JPN) ,  IGARASHI T (Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41  号： 5B  ページ： 3285-3289  発行年： 2002年05月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化タンタル(Ta₂O<sub>5<...

シソーラス用語： *酸化タンタル ,...
準シソーラス用語： 表面音響波

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分類 (2件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

引用文献 (5件)：

• 1) B. T. Khuri-Yakub, G. S. Kino and P. Galle: J. Appl. Phys. 46 (1975) 3266.
• 2) Y. Nakagawa: Appl. Phys. Lett. 31 (1977) 56.
• 3) Y. Nakagawa and Y. Gomi: Appl. Phys. Lett. 46 (1985) 139.
• 4) Y. Nakagawa, Y. Gomi and T. Okada: J. Appl. Phys. 61 (1987) 5012.
• 5) P. Pignolet, G. M. Rao and S. B. Krupanidhi: Thin Solid Film 261 (1995) 18.

タイトルに関連する用語 (4件)： 急速熱焼鈍 ,  酸化タンタル ,  圧電薄膜 ,  圧電気