文献
J-GLOBAL ID：200902163400507625   整理番号：97A0208193

2軸シリコン角速度センサの提案

Proposed bi-axial Silicon Angular Rate Sensor.
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著者 (5件)：
FUJITA T

FUJITA T について

(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)

Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN について

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KONISHI Y

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(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)

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KENNY R

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(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)

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MAENAKA K

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(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)

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MAEDA M

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(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)

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資料名：
Technical Digest of the Sensor Symposium  (Technical Digest of the Sensor Symposium)

Technical Digest of the Sensor Symposium について


巻： 14th  ページ： 43-46  発行年： 1996年06月 
JST資料番号： X0768A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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シリコン微細加工技術による小型,低価格の多軸角速度センサ(ジ...
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分類 (1件)：
分類
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時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器 
(AD05040K)

時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器 について

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シリコン

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速度センサ

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