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J-GLOBAL ID:200902163405831811   整理番号:01A0501528

抵抗膜における熱的・電気的分布特性の解析

An Analysis of Thermal and Electrical Distribution Characteristics for Resistive Films.
著者 (1件):
資料名:
巻: 37  号:ページ: 1-8  発行年: 2001年03月30日 
JST資料番号: F0856A  ISSN: 0027-7568  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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集積回路の高密度化に伴い、電極配線材料中のエレクトロマイグレ...
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分類 (2件):
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熱伝導  ,  固体デバイス材料 
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